img
img
Co-sputtering deposition of HfO2 thin films: Insights into Cu and Ag doping effects      
Yazarlar (4)
Doç. Dr. Abdullah AKKAYA Doç. Dr. Abdullah AKKAYA
Kırşehir Ahi Evran Üniversitesi, Türkiye
Osman Kahveci
Erciyes Üniversitesi, Türkiye
Sedanur Güler
Enise Ayyıldız
Erciyes Üniversitesi, Türkiye
Devamını Göster
Özet
Abstract
This study comprehensively examines the structural, electrical, and electrochemical properties of Cu- and Ag-doped HfO2 thin films deposited via the co-sputtering method. The dopant concentrations were precisely controlled by varying the DC magnetron sputtering power, allowing a systematic evaluation of their impact on film characteristics...
Anahtar Kelimeler
Co-sputtering | HfO doping 2 | Potentiodynamic polarization analyses | TLM | XPS
Makale Türü Özgün Makale
Makale Alt Türü SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale
Dergi Adı Journal of Physics and Chemistry of Solids
Dergi ISSN 0022-3697 Wos Dergi Scopus Dergi
Dergi Tarandığı Indeksler SCI
Dergi Grubu Q2
Makale Dili Türkçe
Basım Tarihi 07-2025
Cilt No 202
Sayı 1
Sayfalar 112686 / 0
Doi Numarası 10.1016/j.jpcs.2025.112686
Makale Linki https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2025.112686
BM Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları
Atıf Sayıları
Co-sputtering deposition of HfO2 thin films: Insights into Cu and Ag doping effects

Paylaş