img
img
Co-Sputtering Deposition of HfO2 Thin Films: Insights into Cu and Ag Doping Effects     
Yazarlar (4)
Doç. Dr. Abdullah AKKAYA Doç. Dr. Abdullah AKKAYA
Kırşehir Ahi Evran Üniversitesi, Türkiye
Osman Kahveci
Erciyes Üniversitesi, Turkey
Sedanur Güler
Erciyes Üniversitesi, Turkey
Enise Ayyıldız
Erciyes Üniversitesi, Turkey
Devamını Göster
Özet
Abstract
This study comprehensively examines the structural, electrical, and electrochemical properties of Cu- and Ag-doped HfO2 thin films deposited via the co-sputtering method. The dopant concentrations were precisely controlled by varying the DC magnetron sputtering power, allowing a systematic evaluation of their impact on film characteristics...
Anahtar Kelimeler
Co-sputtering | HfO doping 2 | Potentiodynamic polarization analyses | TLM | XPS
Makale Türü Özgün Makale
Makale Alt Türü Uluslararası alan indekslerindeki dergilerde yayımlanan tam makale
Dergi Adı Journal of Physics and Chemistry of Solids
Dergi ISSN 1879-2553 Wos Dergi Scopus Dergi
Dergi Tarandığı Indeksler
Makale Dili İngilizce
Basım Tarihi 03-2025
Cilt No 202
Sayı 1
Doi Numarası 10.1016/j.jpcs.2025.112686
BM Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları
Atıf Sayıları
Co-Sputtering Deposition of HfO2 Thin Films: Insights into Cu and Ag Doping Effects

Paylaş